触屏分体式粗糙度仪

名称

内容

测量

范围

Z轴(垂直)

640μm (-320μm~320μm) / 25200μin (-12600μin~+12600μin)

X轴(水平)

17.5mm（0.69 inch）

分辨率

Z轴

（垂直）

0.002μm/±20μm

0.004μm/±40μm

0.008μm/±80μm

0.020μm/±160μm

0.040um/±320um

测量

项目

参数

Ra  Rz  Rq  Rt  Rc  Rp  Rv  R3z  R3y  Rz(JIS)  Ry  Rs  Rsk  Rku  Rmax  Rsm   Rmr  RPc  Rk  Rpk  Rvk  Mr1  Mr2

标准

ISO4287国际标准；ANSI B46.1美国标准；

DIN4768德国标准；JIS B601日本标准

图形

支承率曲线，粗糙度 原始轮廓，滤波波形

滤波器

RC,PC-RC,Gauss,D-P

取样长度(lr)

0.25,0.8,2.5mm

评定长度（ln）

Ln= lr×n    n=1~5

传感器

测量原理

位移式差动电感

触针

天然金刚石，90锥角，5μm针尖半径

测力

触针测力：4mN；导头测力：<400mN

导头

硬质合金，滑行方向半径40mm

滑行速度

lr=0.25,   Vt=0.135mm/s    lr=0.8,    Vt=0. 5mm/s

lr=2. 5,   Vt=1mm/s        返回      Vt=1mm/s

示值精度

0.001μm

示值误差

±(5nm+0.1A)         A:多刻线样板参数Ra的标准值

示值重复性（变动性）

不大于3%

残余轮廓

不大于0.010μm

电源及充电电压

3600mAh锂离子电池，

主机外形尺寸

155×145×58mm

驱动器外形尺寸

23×27×115mm

支架可调高度

40mm

重量

约1000g

工作环境

温度：- 20℃ ~  40℃     湿度：< 90% RH

储存运输环境

温度：- 40℃  ~   60℃   湿度：< 90% RH

可选配件

磁性表座、表座连接块、高度尺、高度尺连接块，曲面传感器、小孔传感器、深槽传感器、极小孔传感器、延长杆、转接杆、微型打印机、200mm测量平台、300mm大理石测量平台，数传处理软件，手机APP